多晶硅生產中含氟廢酸液處理工藝
來源：本站日期：2023-01-09 03:05:38 瀏覽：1771
在多晶硅生產過程中會排放少量的含氟廢酸液，對此類含氟廢酸液該如何處理呢？康景輝小編今天給大家介紹一下多晶硅生產中含氟廢酸液處理工藝。
一、多晶硅含氟廢酸液來源
在多晶硅生產的硅料清洗工序，先用堿液除去硅料表面的石英、金屬離子等，再使用39%氫氟酸和68%硝酸的混合液進行酸洗，后用去離子水沖洗浸泡至中性。酸洗階段產生少量廢酸液，使用完的廢酸，濃度的降低基本可以忽略不計，氟離子含量約5%。
二、多晶硅含氟廢水常規預處理工藝
由于多晶硅含氟廢水處理該廢液酸性很強，為避免對后端處理設備造成腐蝕，一般會調解PH值，然后向廢水中投加石灰乳或者電石渣，對廢水進行中和，同時鈣離子與氟離子生成難溶物氟化鈣沉淀。
三、多晶硅含氟廢水零排放處理工藝
預處理出水的主要鹽組分為硝酸鈣，硝酸鈣質量濃度10%以上，氟離子含量約10mg/L，pH高于7。將預處理后的廢水蒸發濃縮至質量濃度70%左右，再冷卻至40℃以下，結晶生成四水硝酸鈣。
四水物加熱到151℃完全脫水，加熱到495~500℃時，硝酸鈣分解放出氧并生成亞硝酸鈣，繼續加熱則分解成氧化鈣及氧化氮氣體。
硝酸鈣為強氧化劑，屬于危險化學品。因此該工藝產出的四水硝酸鈣應避免受熱，并嚴禁與有機物、還原劑、磷和硫磺等接觸。
硝酸鈣水溶液在不同壓力下的沸點不同，70%硝酸鈣溶液在常壓下的沸點為133℃，而在絕壓40kPa和25kPa下，其沸點分別下降到105℃和93℃。
硝酸鈣溶液的蒸發器宜選用強制循環蒸發器，因為強制循環蒸發器對高黏度、易生泡沫、易結垢、甚至有結晶析出的溶液均適用，且完成液的組成較容易恒定。蒸發器內恒定的完成液組成對后續冷卻結晶系統的正常穩定運行起到至關重要的作用。
根據硝酸鈣的水鹽體系，硝酸鈣溶液可以選擇采用冷卻結晶系統，冷卻結晶產出的硝酸鈣產品可以作為肥料利用。
四、多晶硅廢水處理尾氣處理工藝
對廢酸液處理過程中產生的廢氣處置工藝及設備選型，酸性廢氣可用堿性溶液進行吸收處理，常用的吸收液。
經堿液吸收后的尾氣通過排氣筒高空排放，尾氣中氮氧化物和氟化物排放濃度及排放速率滿足排放標準。室外高空排放時應設避雷設施，采用金屬排放裝置還應有可靠的接地措施。
根據含氟廢酸液中和后的溶液組成及性質，選取合適的蒸發結晶工藝和操作條件，以實現廢液的零排放。
